技術ブログ 2010年4月

<石英ガラスの加工面について>

石英ガラスの表面の仕上げですが、透明仕上げと不透明仕上げの2つに分けられます。

この仕上げは用途や価格により決まります。

 

透明仕上げ

1)焼仕上げ

  主に半導体向けに使用されます。

  キズの除去やパーティクルの付着を抑制します。

  窓板等の用途には使用可能な場合があります。

  U字部などの研磨が困難な場所にも加工可能です。

  アニール処理により歪みを除去する必要がある為、

  高精度を求める物に行う場合には注意が必要です。

2)研磨仕上げ

  主に光学用途に使用されます。

  のぞき窓の用途からレーザーを使用する用途まで幅広く仕様があります。

  面精度、キズ規格などの要素があります。

  アニール処理を行わなくて良い為、高精度のものが可能です。

  また、凹部にはバフ研磨などの加工も可能です。

 

不透明仕上げ

 1)素材加工目

   素材切り出し時の目です。 

   ワイヤーソーやバンドソー、ブレードソー、ダイヤモンドカッターなど

   多種な目が存在いたします。

 2)機械加工目

   ロータリー加工、マシニング加工やスライシング加工などがあります。

   また、さらに砥石の番手やボンドの種類により表面粗さが変わります。

   機械加工のツール目が残ります。

 3)サンドブラスト加工

   例)#60から#800の番手の砂でサンドブラスト加工を行います。

   遮光や拡散光、断熱、マーキング等の用途があります。

 4)スリ仕上げ

   例)#60から#3000の番手の砂で砂掛け加工を行います。

   均一な目が必要な場合や精度を保ったままの加工が出来ます。

以上

技術 高橋

   


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