技術ブログ 2010年5月 

<石英ガラスの加工方法について>

石英ガラスの加工方法とアプリケーションについて例をあげて説明します。

加工方法としては、1.研削加工、2.火炎加工、3.研磨加工、4.融着加工などが

あり、その機能を高める為に成膜、エッチング、ブラストなどの処理を行います。

またこれらを組み合わせて、製品へと仕上げてゆきます。

 

加工例1)断熱用途

溶接にて組み上げた製品にサンドブラスト処理を行い断熱効果を高めます。

また、不透明石英と呼ばれる元々不透明な材質を用いてより断熱効果を高める

物もあります。この不透明石英は研磨、エッチングにより透明にならない為、

機能が持続します。

 

加工例2)高精度ステージ

全面透明仕上げにしたいステージにて精度の厳しい製品の場合、

1.マシニング等にて成形加工を行い、2.火炎研磨を行い透明化し、

3.アニール処理にて歪みを除去後、4.酸化セリウムにて研磨加工を行い、

面精度を出すなどの加工が出来ます。

この場合火炎研磨の変わりにバフ研磨を用いる場合もあります。

 

加工例3)超音波洗浄用石英槽

超音波の発振子を取り付ける面は板厚のバラつきやソリが重要になってきます。

その部分の精度を出す為に、火炎研磨ではなく酸化セリウムによる研磨板を

使用する場合があります。

これにより溶接部の歪みだけで面精度を保ちながら加工が出来ます。

 

加工例4)フライアイレンズ

レンズとレンズを接着加工を行うことにより一体化が可能です。

またレンズ表面には反射防止や多層膜の成膜処理を行い機能を高めます。

レンズを保持するガイドも同様に接着加工を行うことにより装置へのセットが

より簡易化されます。

 

加工例5)フローセル

液が流れる部分は酸水素バーナーによる溶接、曲げ加工にて行います。

透光板は歪みがあってはいけないため、合成石英を研磨した板を融着又は

溶着により面が崩れないように加工を行います。

液が流れる枝管にもノウハウが必要です。

以上

技術 高橋


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