製品情報
シリコン基板ホルダー
φ12インチ（φ300mm）までのシリコンウェハに座グリ加工を施し、ラボテストや評価を行うためのホルダーで、製膜したシリコンウェハを1枚使うことなく、カットサンプルを利用することで評価におけるコストダウンを実現します。
※写真は4インチシリコンウェハへの加工事例です。
※写真は4インチシリコンウェハへの加工事例です。
仕様
3・4・6・8・12インチのシリコンウェハに対応
※参考図（φ300mmに▢10の座グリを5か所）
4インチタイプは下記の弊社提携サイトで購入いただけます。
基板ホルダー（4インチシリコンウェハーベース） ※研究開発、工業用品のネット販売 ラボマイスター
▪製品名 基板ホルダー（4インチシリコンウェハーベース）
▪サイズ ベースウェハー φ100×0.525（mm）
座グリ部分 10.5×10.5×深さ0.3（mm）
使用分野・使用方法
座グリ部にシリコンウェハや各種基板をはめ込み、各プロセス処理を行います。
⇒4〜6インチ…研究開発機関様向け
⇒8〜12インチ…装置メーカー様向け
※加工形状などについてご要望があれば、お知らせください。
