石英ガラス、CaF2、結晶材料など素材と精密加工、設計(光学・メカ)、光学ユニット製作まで
Japanese / English
株式会社大興製作所
ホーム > 製品一覧  > インラインヒーター (CLヒーター)

インラインヒーター (CLヒーター)

大興製作所のインラインヒーター(CLヒーター:Chemical Line Heater)は、半導体製造ウエットプロセスにおける各種薬液・純水の高温加熱用として接液部は高純度の石英ガラスを使用し、ハロゲンランプヒーターによる赤外線光エネルギーを利用したクリーンな加熱ユニットです。使用継手についてはカスタム可能ですのでご相談ください。

特 徴

   

    クリーン性

       接液部は金属イオン溶出が極めて少なく、また耐熱性や耐薬液性に優れた石英ガラスです。

       また光放射加熱方式のため、ヒーター破損時の金属汚染はありません。

  

    高効率な熱源

       立上り、立下りの素早いハロゲンヒーターです。85%以上の赤外線変換、投射します。

  

    安全性

       空焚き防止温度センサー、過熱検出設定センサー、漏液センサーを付帯しています。

         ※検知器は別途必要となります。

  

    メンテナンス性

       シングルエンドのヒーター採用により、コンパクトな収納、メンテナンスが容易です。

 

 

内部構造

   

 

  

昇温データ

  

 

 

仕 様

 

方  式 ハロゲンランプヒーターによる放射加熱方式
品  番 CLH2603T-25P CLH3903T-25P CLH4123T-25P
性能構成 ヒーター電力 6KW 9KW 12KW
最高使用温度 180℃
接液部材質 高純度石英ガラス
許容内圧 0.4MPa
配管口径(石英) 25mm [※1] 25mm 25mm
適合配管(フッ素樹脂) φ25mm [※1] φ25mm φ25mm
安全機構 過熱温度センサー、空焚き検知センサー、漏液検知帯
消費電力 AC200V 6KVA AC200V 9KVA AC200V12KVA
筐  体 筐体材質 フッ素樹脂(PTFE)
筐体寸法(W×L×H) 230×432×242mm [※2] 230×432×242mm [※2] 230×432×242mm [※2]
重 量 約14kg 約15kg 約16kg

価  格

お問合せください お問合せください お問合せください

※ 石英ガラス、フッ素樹脂を浸す薬液にはご使用いただけません。

※ 石英管用継手は、貴社でご用意ください。(石英管施工標準:日本ピラー工業様クォーツ継手対応)

※1 配管口径φ20mm機種「ー20P」もございます。CLH2603T-20P機種のみ筐体寸法は190×432×201(mm)となります。

※2 筐体(L)寸法には石英上下配管IN/OUT寸法を含みません。      

  

 

概略図、寸法を含めたカタログ版は下記ダウンロードファイルよりご覧いただけます。