ビームエキスパンダー(カスタム品)
ビームエキスパンダーは、レーザービームを一定の倍率の平行光束に拡げる目的で使用します。出射光のビーム拡がり角はその倍率に反比例して小さくなる為、小さなスポットに集光する事が可能です
ビームエキスパンダー(標準品)
◆3倍、4倍、5倍の固定倍率式
◆1台でYAGレーザーの3波長( 1064nm, 532nm, 355nm )対応
各波長ごとに異なる最適なレンズ間距離を調整することが可能です。
ビームホモジナイザー(カスタム品)
レーザ光の強度分布はガウシアン分布を主とする不均一なものであり、最近のレーザ加工(アニール、ドリリング加工など)においては均一な強度分布が求められています。均一な強度分布を得る為の光学素子として、フライアイレンズを用いたビームホモジナイザーを提案しています。
ビームホモジナイザー(標準品)
本製品は各波長ごとに異なる最適なレンズ間距離を調整することが可能で、幅広い波長域に対応できます。
ArFエキシマレーザービームホモジナイザー
■レーザ仕様
波長:ArF(193nm)
出力:2.4~4W
最大繰り返し周波数:500Hz
パルスエネルギー:12mJ
入射ビーム径 6×3㎜
照射ビーム径 16×8㎜(WD=160㎜)
均一度 ±5%(設計値)
ロッドインテグレータレンズユニット
■レーザー仕様
波長:ArF(193nm)
出力:100W
最大繰り返し数:50Hz
入射ビーム径:3×3㎜
照射ビーム径:14×14㎜(WD=130㎜)
均一度:±5%(設計値)
弊社では、UV~可視光~IRと幅広い波長をカバーした光学製品を製作してきた技術を用いて、LEDを使用した簡易的なモジュールを製作しました。
ご使用用途に合わせた波長・強度・エリア等をカスタムで対応しております。
LED均一照明光学系の設計を行っており、ユニットも取り扱っております。
複数のチップからなる光源の照度ムラを解消することが可能です。
各チップから出た光をケラー照明の手法を用い、均一照明とすることができます。