製品情報

業界別製品一覧（半導体製造）

半導体製造のバッチ式ウエット(薬液処理、洗浄)プロセスで使用される石英ガラス槽を製作しています。

ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなどの石英ガラス製品です。

半導体製造のウエット洗浄プロセス、拡散・CVDプロセス用のウエハーガイド・ボードをお客様の仕様に応じて製作します。

半導体製造プロセスで使用される炉芯管（アウター、インナー）、反応管、二重管などの多彩な石英ガラス製品を製作いたします。

石英ガラス管投げ込みヒーターは、ヒーター外部を石英ガラス管でおおった、薬液加熱に最適なヒーターです。

熱源として非常に高効率なエネルギー源です。
大興製作所では用途に応じて、様々な形状のヒーターを製作しています。

各種薬液の高温加熱用として高純度の石英ガラスを使用したハロゲン光源を利用したクリーンな高効率な加熱ユニットです。

全ての波長の高出力レーザーに対して非常に高い防護能力を誇ります。

先端露光機やコータ・デベロッパ装置など、フォトリソ環境での作業に最適な高輝度イエローライト

レーザーの安全対策に、自由な経路と空間を構築できます。

専門スタッフが選定・設計から製作、構築まで行い、お客様の理想を形に致します。
安心安全のレーザー使用環境をフルサポート致します。

全ての波長のレーザーに対して高い防護能力を持っておりコーティングされた表面が拡散反射を大幅に軽減します。

レーザーのクラス、用語、要求や措置基準等をご紹介しています。

ご使用いただいているレーザー機器のクラスごとに必要な措置があります。どのようなステップでの検討が必要かをわかりやすくご紹介しています。