
「PLAZMARK®」は、照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)です。
本商品は装置内に置いてプラズマ処理するだけで、処理効果を可視化できます。安価で簡便に工程のバラツキや面内分布を評価でき、生産性や歩留まりの向上に役立ちます。
※PLAZMARKはサクラクレパスの商標または登録商標です。
O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。
(Arプラズマでも変色する場合があります)
O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
O₂クリーニングでは検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータです。
用途
・めっき前の表面改質
・ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質
・部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
・LSI、メモリ、MEMS、LED等電子デバイスの封止前のクリーニング


新規有機色材の開発により、大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を実現。
プリント配線板製造/FPD製造/フィルム加工など、大面積の大気圧(常圧)プラズマ処理のチェックに適しています。
UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

色材に無機材質、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性(200℃)を実現。
フレキシブル性、接着性がありますので、基盤表面や装置内に自由に貼り付け評価できます。

プリント配線板ビアホールのプラズマデスミア用の貼付が可能なラベル型インジケータです。
プラズマデスミアで代表的なO₂+CF₄系ガスに対応しています。
他のPLAZMARK®ラインナップがレンジオーバーしてしまう高出力長時間の強力なプラズマ処理にもお使いいただけます。
フレキ基板に貼り付けてロールtoロール式プラズマデスミア装置で搬送処理が可能なフレキシブル性を備えています。
