大興製作所は、半導体製造装置向けの石英ガラス治具をオーダーメイドで製作しています。高純度石英ガラスの特性を最大限に活かした精密加工技術により、耐熱・耐薬品性・クリーン性が求められる半導体工程に最適な製品を提供します。試作から量産まで対応し、お客様の装置・プロセスに最適化した治具を実現します。
高純度・耐熱性・耐薬品性という石英の特性を生かし、半導体製造のウエット洗浄プロセス、拡散・CVDプロセス用のウエハーガイド・ボードをお客様の仕様に応じて製作します。高精度な加工と仕上げにより、ウエハーの安定搬送と位置決めを実現し、プロセスの均一性向上に寄与します。また、低金属汚染およびパーティクル発生の抑制に配慮した設計・製造により、クリーンな処理環境を維持し、歩留まり向上に貢献します。
半導体製造プロセスで使用される炉芯管（アウター、インナー）、反応管、二重管などの多彩な石英ガラス製品を開発・製造しています。高純度石英を用いた優れた耐熱性・耐薬品性・低金属汚染特性により、拡散・酸化・CVDなど各種熱処理プロセスにおいて安定した処理環境を提供します。また、装置仕様やプロセス条件に応じたカスタム設計にも対応し、信頼性の高い製品供給を通じて歩留まり向上と長期安定稼働に貢献します。
ベルジャーやチャンバーをはじめとするエッチング・アッシング用石英部品や、ランプアニール用石英チャンバーなどの石英ガラス製品を開発・製造しています。
高純度石英ガラスを採用し、優れた耐熱性・耐薬品性・低金属汚染特性により、クリーンなプロセス環境を実現します。プラズマ処理や成膜、エッチングなど各種プロセスにおいて、安定した反応空間を提供し、プロセスの再現性および均一性向上に寄与します。高温および真空環境下でも高い寸法安定性と気密性を維持します。
半導体製造装置向けに最適化された石英ガラス製リング・保持治具を製作しています。高純度石英を使用し、優れた耐熱性・耐薬品性・低金属汚染特性を兼ね備えており、クリーンなプロセス環境の維持に貢献します。成膜、エッチング、熱処理など各種プロセスにおいて、ウェハの位置決めやプロセス均一性の向上をサポート。高温環境下でも形状安定性を維持し、長期使用における信頼性を確保します。また、装置仕様やプロセス条件に応じた寸法・形状のカスタム対応が可能で、多様な半導体製造ラインに柔軟に適合します。
