
SiC(シリコンカーバイド)はシリコン(Si)と炭素(C)で構成される化合物半導体材料で、パワーLSI用、高輝度LED用など様々な用途で利用されます。大興製作所ではテストグレード規格品としての取り扱いの他、ハイグレード品やサイズ、形状加工を承っております。
テスト用基板として使いやすい、低価格/短納期のSiC(シリコンカーバイド)基板です。
SiCウェハーサイズだと大きすぎる実験の場合に最適な10mm角SiC及びウェハーサイズを用意しています。
※マイクロパイプとは
…直径1~10umの大きく中空状の結晶欠陥。
らせん転位(刃状転位における原子配列のずれから、結晶内の原子がずれた転位)の1種です。
転移方向はC軸<0001>に平行となります。
※テストグレードとは
…製品グレードよりマイクロパイプ数の多いグレード(ダミーグレードとも)です。
製品グレード(マイクロパイプ数 ≤ 0.5 cm-2)での製作もカスタマイズにてお受けします。