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For Custom

カスタムのご相談

大興製作所では全ての製品でカスタムが可能です。
まずはご相談だけでも、お気軽にお問い合わせください。

For Products

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材料

SiC

ジャンル
  • 実験基板

SiC(シリコンカーバイド)はシリコン(Si)と炭素(C)で構成される化合物半導体材料で、パワーLSI用、高輝度LED用など様々な用途で利用されます。大興製作所ではテストグレード規格品としての取り扱いの他、ハイグレード品やサイズ、形状加工を承っております。

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特徴

テスト用基板として使いやすい、低価格/短納期のSiC(シリコンカーバイド)基板です。
SiCウェハーサイズだと大きすぎる実験の場合に最適な10mm角SiC及びウェハーサイズを用意しています。

  • 4H-Nタイプ
  • マイクロパイプ数:≤ 15 cm-2 (テストグレード)
  • Si面:CMP仕上げ
  • C面:光学鏡面仕上げ(ミラー)

※マイクロパイプとは
 …直径1~10umの大きく中空状の結晶欠陥。
  らせん転位(刃状転位における原子配列のずれから、結晶内の原子がずれた転位)の1種です。
  転移方向はC軸<0001>に平行となります。

※テストグレードとは
 …製品グレードよりマイクロパイプ数の多いグレード(ダミーグレードとも)です。
  製品グレード(マイクロパイプ数 ≤ 0.5 cm-2)での製作もカスタマイズにてお受けします。

仕様と価格

標準品としてウエハータイプ/正方形タイプがサイズがございます。

サイズ

セット枚数

価格

Webショップ

□10×10×0.35t(mm)

5

¥27,000(税込¥29,700)

購入する

□10×10×0.35t(mm)

10

¥42,000 (税込¥46,200)

購入する

φ101.6×0.35t(mm)

1

¥74,000 (税込 ¥81,400)

購入する

ご利用ユーザー例

  • 大学/研究機関
  • LSI製造
  • センサ/MEMS製造
  • 自動車製造
  • 電力
  • LED製造
  • 製薬
  • 半導体用装置製造
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その他の製品

  • 材料

    窒化アルミニウム基板

    実験基板
  • 部品

    半導体製造向け石英ガラス治具

    半導体製造
  • ユニット・装置

    MA-T®濃度測定器/MA-T® Measure™

    医療・創薬
  • その他

    ぬれ性チェックペン

    紫外線応用