石英ガラスは高純度・高耐熱・耐薬品・光学透明性を備えた材料で、半導体・光学素子・分析機器など幅広い分野で用いられます。
熱的な変化が少ないため、寸法精度の高い精密加工が適しており、大興製作所グループでは機械加工では限界だったmmオーダーを超え、μm～nmの精密加工技術に挑戦しております。
溝、段差、穴、面取りなど様々な形状の精密構造形成が可能で、ダイヤモンドツールを用いたマシンツール加工になります。物理研削のため、加工内容により対応可能な厚みが異なりますが、後述の反応性イオンエッチング、レーザーアシストエッチングと比べ、厚物にも対応でき比較的自由な形状が作成可能です。
広範囲への精密加工（導波路、格子、スリット、微細流路など）を得意としており、化学的かつ物理的にエッチングします。石英をはじめ、その他ガラス、シリコンなど様々な材料で加工が可能な技術です。弊社にて規格品としての開発を想定しておりますがカスタムオーダーもご相談ください。
狭い範囲での深堀りを得意とする加工で穴加工・溝形状・流路など、超短パルスレーザーによるミクロン単位の加工等が可能になります。通常のレーザー加工と比べ、スループット・寸法安定性に優れます。レーザーを当てた後、薬液を用いた深堀エッチングです。
