大興製作所のインラインヒーター（CLヒーター：Chemical Line Heater）は、半導体製造ウエットプロセスにおける各種薬液・純水の高温加熱用として接液部は高純度の石英ガラスを使用し、ハロゲンランプヒーターによる赤外線光エネルギーを利用したクリーンな加熱ユニットです。
使用継手についてはカスタム可能ですのでご相談ください。
接液部は金属イオン溶出が極めて少なく、また耐熱性や耐薬液性に優れた石英ガラスです。
また光放射加熱方式のため、ヒーター破損時の金属汚染はありません。
立上り、立下りの素早いハロゲンヒーターです。85％以上の赤外線変換、投射します。
過昇温センサー、過熱検知センサー、漏液検知導線を付帯しています。
検知器は別途必要となります。
空焚き検知センサーと過熱検知センサーは別系統で併用してください。
シングルエンドのヒーター採用により、コンパクトな収納、メンテナンスが容易です。
ハロゲンランプヒーターによる放射加熱方式
品番 | CLH2603T-25P | CLH3903T-25P | CLH4123T-25P |
|---|---|---|---|
ヒーター電力 | 6KW | 9KW | 12KW |
最高使用温度 | 180℃ | ||
接液部材質 | 高純度石英ガラス | ||
許容内圧 | 0.4MPa | ||
配管口径（石英） | 25mm（※1） | 25mm | 25mm |
適合配管（フッ素樹脂） | φ25mm（※1） | φ25mm | φ25mm |
安全機構 | 過昇温センサー、過熱検知センサー、漏液検知導線 | ||
消費電力 | AC200V 6KVA | AC200V 9KVA | AC200V 12KVA |
品番 | CLH2603T-25P | CLH3903T-25P | CLH4123T-25P |
|---|---|---|---|
材質 | フッ素樹脂（PTFE） | ||
寸法（W×L×H） | 230×432×242mm（※2） | ||
重量 | 約14kg | 約15kg | 約16kg |
品番 | CLH2603T-25P | CLH3903T-25P | CLH4123T-25P |
|---|---|---|---|
価格 | ￥1,100,000 | ￥1,210,000 | ￥1,320,000 |
※ 石英ガラス、フッ素樹脂を浸す薬液にはご使用いただけません。
※ 石英管用継手は、貴社でご用意ください。（石英管施工標準：日本ピラー工業様クォーツ継手対応）
※1 配管口径φ20mm機種「ｰ20P」もございます。
※2 筐体（L）寸法には石英上下配管IN／OUT寸法を含みません。
