
イエロールームを、もっと見やすく。
先端露光機やコータ・デベロッパ装置など、フォトリソ環境での作業に最適な高輝度イエローライト(フォトリソ・メンテナンス用ライト)です。
レジスト感光波長域をカットして発光することで、白色光での感光リスクを解消し、作業性を飛躍的に向上します。
メンテナンスエンジニア、プロセスエンジニアの方に、安心してご使用いただけます。
ズーム機構を採用し、調整リングの操作で、投光エリアをワイドからスリムまで自由に調整可能です。
電源 | 充電池(分解、交換不可) |
|---|---|
光源 | LED+波長カットフィル(ポリイミドフィルム) |
持続時間 | 2時間以上 |
光束 | 80lm以上 |
波長 | 608nm |
外形寸法 | φ34×140(mm) |
付属品 | 充電ケーブル、ストラップ |

¥25,190(税抜¥22,900)購入する
業界、分野 | 主な用途、部署 |
|---|---|
半導体製造 | リソグラフィ工程、メンテナンス部門、プロセス技術部 |
電子部品・MEMS製造 | 微細加工、ウェハ検査、プロセス開発 |
FPD(フラットパネルディスプレイ) | フォトリソラインでの点検・調整作業 |
大学・公的研究機関 | クリーンルーム実験室、微細加工施設(ナノファブなど) |
装置メーカー、メンテナンス会社 | 露光装置、コータ・デベロッパ、洗浄装置などの保守点検時 |
精密光学・フォトニクス関連企業 | マスクアライメント、フォトプロセス開発環境 |
バッテリーヘの負荷が大きくなり、発熱、発火、破裂の恐れがあり、非常に危険です。
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