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ユニット・装置

石英ガラスヒーター

ジャンル
  • 半導体製造
  • ヒーター・加熱

石英ガラス管投げ込みヒーターは、ヒーター外部を石英ガラス管でおおった、薬液加熱に最適なヒーターです。
薬液を加熱する際に、ヒーター線の金属溶出汚染を防止し、極めて高純度でクリーンな加熱が可能です。
また、1000℃の 耐熱特性からどのヒーターよりも高出力、高温設計が可能です。

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二重管タイプ

割れ検知機

二重管ヒーターは、アウターの石英ガラス管にピンホールや破損が生じた場合に備え、インナー管の割れ検知器で加熱を停止して、異常警報する事も出来ます。

方式

エアー加圧・圧力降下検出方式の繰り返し(タイマー制御)

警報

内蔵高音量ブザー、赤ランプ、外部信号出力

用力

電力100W/100V N2/DA 0.1-0.5MPa

シングル管タイプ

石英ガラスの耐薬液性が高くてダメージが少ない用途には、コストパフォーマンスのある標準のシングル管タイプもございます。

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